基于柔性衬底的GaN薄膜生长及相关物性研究

基于柔性衬底的GaN薄膜生长及相关物性研究摘要GaN是一种重要的III-V族宽禁带半导体材料，在蓝宝石衬底上的生长已经非常成熟。本文研究了基于柔性衬底的GaN薄膜生长及其相关物性，通过改变生长过程中的