稀土掺杂宽带隙氮化物半导体薄膜的制备与性能研究的综述报告

稀土掺杂宽带隙氮化物半导体薄膜的制备与性能研究的综述报告随着人类对环境保护意识的加强和新能源技术的发展，氮化物半导体的应用越来越广泛。多数氮化物半导体具有宽带隙，高热稳定性，低反演层密度、高能隙特性等