原子力显微镜研究APS化单晶硅衬底及单层MD膜表面

原子力显微镜研究APS化单晶硅衬底及单层MD膜表面摘要：本研究使用原子力显微镜（AFM）对APS化单晶硅衬底及单层MD膜表面进行了研究。首先制备了一批不同工艺条件下的单晶硅衬底，经过APS化处理后，使