NiO及GaNNiO薄膜的低温制备与特性研究的中期报告

NiO及GaNNiO薄膜的低温制备与特性研究的中期报告本研究通过射频磁控溅射的方法，在氧气氛围中制备了NiO薄膜和GaNNiO薄膜，并对其物理特性进行了研究。以下是本次研究的中期报告。一、制备过程1.