原子层淀积高k介质MIM电容性能研究的任务书

原子层淀积高k介质MIM电容性能研究的任务书一、研究背景高功率微波电路是现代电子技术领域中的一个重要分支，广泛应用于雷达，通信，医学以及军事等领域。高功率微波电路中的高频电容是非常重要的元件之一，其功