MEMS传感器现状及应用论文

MEMS传感器现状及应用论文　　1.引言　　MEMS传感器是通过微机械加工技术所研制出的新型传感器，为MEMS的重要组成部分。随着MEMS技术的发展，MEMS传感器性能也在不断提升，并逐渐成为一些发