Ф300mm大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术改造

Ф300mm大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术改造标题：Ф300mm大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术的改造摘要：本文研究了Ф300mm大口径平面等厚干涉仪的波面数字化技术改造。通过对干涉仪原理和数字

Ф300mm 大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术改 造 Ф300mm 标题：大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术的改造 摘要： Ф300mm 本文研究了大口径平面等厚干涉仪的波面数字化技术改 造。通过对干涉仪原理和数字化技术的研究，提出了一种改进方案，能 够实现对波面的高精度数字化测量。通过实验验证，结果显示该改造方 案能够满足对大口径平面等厚干涉仪波面数字化的需求，为大型光学元 件制造过程中的质量控制提供了新方法。 关键词：大口径，平面等厚干涉仪，波面数字化，改造，数字化技 术 1. 引言 干涉仪是用于光学元件表面质量检测的重要工具，平面等厚干涉仪 是其中一种常用的类型。然而，传统的平面等厚干涉仪在大口径应用中 Ф300mm 存在一些局限性，如波面数字化困难。本文旨在研究大口径平 面等厚干涉仪波面数字化技术的改造，以提高其应用范围和波面测量精 度。 2. 干涉仪原理 干涉仪通过将光束分为两束并在光程上引入相位差，通过干涉效应 来检测样品表面的形貌差异。平面等厚干涉仪适用于平面或近似平面的 光学元件的表面质量检测。传统的干涉仪使用干涉图来观察和判断光学 元件的表面形状，这种方法存在一定的主观性和误差。 3. 数字化技术在干涉仪中的应用 数字化技术的发展使得干涉仪的测量结果能够以数字化形式进行存