热发射扫描电镜技术规格及要求样稿

热发射扫描电镜技术规格及要求1、 设备组成、部署方法及用途说明1.1 设备名称：热发射扫描电镜1.2 数量： 一套1.3 场发射扫描电镜关键由以下部分组成：①主机：热场发射扫描电镜②附件：电制冷能谱