铝线键合的等离子清洗工艺研究

铝线键合的等离子清洗工艺研究铝线键合的等离子清洗工艺研究摘要：铝线键合技术在微电子行业中被广泛应用，它是一种热压合技术，用于将微电子器件的连接金线与引线排进行连接。在这个过程中，铝线的成分和表面都会面