纳米异质外延层与衬底的晶体取向匹配的电子背散射衍射分析

纳米异质外延层与衬底的晶体取向匹配的电子背散射衍射分析Ⅰ、 前言纳米异质外延层的晶体取向匹配的研究是纳米技术领域内的一个重要课题。本文将围绕纳米异质外延层与衬底的晶体取向匹配相关的电子背散射衍射分析展