低温氧化与超薄介质层的生长及应用

低温氧化与超薄介质层的生长及应用近年来，低温氧化和超薄介质层在半导体器件制造技术中起到了重要作用。本文将探讨低温氧化和超薄介质层的生长和应用，以期对其理解有所提高。首先，低温氧化是一种将氧分子注入到半