ArF准分子激光诱导4H--SiC表面缺陷态调控电接触性能研究的中期报告

ArF准分子激光诱导4H--SiC表面缺陷态调控电接触性能研究的中期报告摘要：随着电子工业的迅猛发展，SiC材料凭借其高温抗氧化性、较高的载流能力、强的辐射抗干扰等优良性能，越来越受到关注。而SiC的