22nm节点技术的铜抛光液中纳米复合物粒子的合成与表征的中期报告

22nm节点技术的铜抛光液中纳米复合物粒子的合成与表征的中期报告该项目的中期报告涉及22nm节点技术的铜抛光液中纳米复合物粒子的合成与表征方面的研究。在合成方面，研究团队首先制备了不同尺寸和形状的硅粒