反应磁控溅射制备TiAlVN薄膜及性能研究

反应磁控溅射制备TiAlVN薄膜及性能研究摘要: 本文采用反应磁控溅射技术制备了TiAlVN薄膜，并对其基本性能进行了研究。通过X射线衍射、扫描电子显微镜、能谱仪、硬度计等测试手段，分析了薄膜的化学成