氧化铪在半导体器件中的应用和发展
- 一、 绪论 - 信息技术的高速发展和广泛应用改变了传统的生产、经营、管理和生活方式,对人类社会各方面都带来了深刻的影响。目前美国、日本等发达国家信息产业的
氧化铪在半导体器件中的应用和发展