硅铝锌三元合金精炼去除多晶硅中B杂质研究

硅铝锌三元合金精炼去除多晶硅中B杂质研究摘要硅铝锌三元合金精炼技术在多晶硅生产中具有重要的意义。本研究以多晶硅中的B杂质为研究对象，通过对硅铝锌三元合金的合成、制备以及加入多晶硅后的精炼过程的控制，成