薄膜光学锥形光栅的制备与光学特性分析

薄膜光学锥形光栅的制备与光学特性分析薄膜光学锥形光栅的制备与光学特性分析摘要：光栅是一种具有周期性结构的光学元件，广泛应用于光学信息处理、光学传感和光谱学等领域。在实际应用中，传统的平面光栅由于其结构