新型多喷淋头式MOCVD反应器的数值模拟及优化设计的任务书

新型多喷淋头式MOCVD反应器的数值模拟及优化设计的任务书任务书一、任务背景MOCVD是一种重要的表面化学反应技术，广泛应用于半导体、光电子和微电子等领域。作为一种重要的表面化学反应技术，MOCVD技