深紫外成像光谱椭圆偏振仪校准方法研究中期报告

深紫外成像光谱椭圆偏振仪校准方法研究中期报告一、研究背景深紫外成像光谱椭圆偏振仪是一种用于表征材料光学性质的仪器，它可以同时测量材料的透射和反射光谱，并得到各向异性参数，如椭圆偏振率、偏振角和相位差等