MEMS局部加热封装技术与应用

MEMS局部加热封装技术与应用随着微电子技术和微机电系统（MEMS）的不断发展，封装技术的提升已经逐渐成为关键技术之一。封装技术在MEMS器件中具有重要的作用，它不仅仅是硅基MEMS器件的保护层，同时