EBPVD制备热障涂层介绍

电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备热障涂层技术黄升摘要：本文介绍电子束物理气相沉积〔EB-PVD〕制备热障涂层技术，结合进展历程综述其技术原理、设备构造及工艺特点。关键词：电子束物理气相沉积〔