离子研磨减薄及其应用

离子研磨减薄及其应用离子研磨减薄及其应用摘要：离子研磨减薄是一种新兴的材料处理技术，通过离子束在固体表面的轰击作用下，实现材料的减薄。本文首先介绍了离子研磨减薄的原理和相关设备，然后探讨了其在材料科学