等离子体增强化学气相沉积PECVD在薄膜制备中的应用综述精

等离子体增强化学气相沉积技术（PECVD）在薄膜制备中的应用综述摘要：本文综述了现今利用等离子体技术增强化学气相沉积（CVD）制备薄膜的原理、工艺设备现状和发展。关键词：等离子体；化学气相沉积；薄膜；