MEMS电磁驱动微器件的失稳特性研究

MEMS电磁驱动微器件的失稳特性研究MEMS（微电子机械系统）技术是一种以微米或纳米级别制造机械器件的技术，其具有结构紧凑、低功耗、高效率、高灵敏度等优点，因此在传感器、运动控制、通信等领域得到了广泛