基于双平面线圈驱动的GMM薄膜微泵

基于双平面线圈驱动的GMM薄膜微泵基于双平面线圈驱动的GMM薄膜微泵摘要：薄膜微泵是一种广泛应用于微流控和微液处理领域的微型泵浦。本论文针对传统薄膜微泵中存在的一些问题，提出了一种基于双平面线圈驱动的