冷氢化重点技术综述

冷氢化技术综述    采用多晶硅工厂旳副产物四氯化硅（STC）作原料，将其转化为三氯氢硅（TCS），然后将三氯氢硅通过歧化反映生产硅烷。     80年代初，为得到低成本、高纯度旳多晶硅，又进行了一系