MEMS及MCM中柔性铰链的设计与制造的中期报告

MEMS及MCM中柔性铰链的设计与制造的中期报告本中期报告旨在介绍柔性铰链在MEMS及MCM中的设计和制造过程。在此过程中，我们将重点关注以下几个方面：1. 柔性铰链的设计原理和优点2. 柔性铰链的制