AlN晶体的离子注入掺杂及缺陷研究的任务书

AlN晶体的离子注入掺杂及缺陷研究的任务书一、任务背景AlN晶体在电子学、光电子学等多个领域具有重要应用，如高功率、高频率功率放大器、蓝紫色LED发光器件、超声波传感器等。在实际应用中，为了提高AlN