高k金属栅的可靠性研究的中期报告

高k金属栅的可靠性研究的中期报告中期报告一、研究背景高k介质常用的栅极材料是钨或钨合金，但由于它们的使用受到一些因素的限制，例如制造难度、高温热稳定性、与介质的相容性等。为了解决这些问题，近年来越来越