高k金属栅结构CMOS器件的界面调控及可靠性机理研究

高k金属栅结构CMOS器件的界面调控及可靠性机理研究高k金属栅结构CMOS器件的界面调控及可靠性机理研究摘要：随着微电子技术的快速发展，器件的尺寸逐渐缩小，提高性能的需求越来越迫切。高k金属栅结构CM