超声电机机电耦合动力系统及其建模方法综述

超声电机机电耦合动力系统及其建模方法综述超声电机机电耦合动力系统及其建模方法综述 微电机 超声电机机电耦合动力系统及其建模方法综述 陈波,赵向东,王育平 (山东科技大学,泰安271019) 摘要:以旋