BN薄膜的残余压缩应力研究及紫外光响应的初步探索

BN薄膜的残余压缩应力研究及紫外光响应的初步探索摘要：本文主要研究BN薄膜在残余压缩应力下的性质以及其在紫外光响应方面的初步探索。通过超高真空（UHV）磁控溅射技术制备残余压缩应力的BN薄膜，并通过拉