基于MEMS工艺的微型金属桥膜点火器件研究

基于MEMS工艺的微型金属桥膜点火器件研究摘要本文主要研究基于MEMS工艺的微型金属桥膜点火器件。传统的点火器件体积较大，无法用于微型化设备中。而基于MEMS工艺设计的微型点火器件具有体积小、功耗低、