一种新型MEMS皮拉尼计及圆片级MEMS真空封装制造技术研究的综述报告

一种新型MEMS皮拉尼计及圆片级MEMS真空封装制造技术研究的综述报告MEMS（微电子机械系统）技术是一种集微电子学、微加工技术和机械工程技术为一体的新型技术，目前已经广泛应用于集成电路、生物医学、环