磁控溅射金属薄膜的制备

磁控溅射薄膜金属的制备黎明烟台大学环境与材料工程学院 山东烟台 111E-mail: 1111111@qq.com摘 要: 金属与金属氧化物在气敏、光催化与太阳能电池等方面有着极为重要的应用，