物理所率先实现基于石墨烯的各向异性刻蚀技术

物理所率先实现基于石墨烯的各向异性刻蚀技术来源：物理研究所 最近，中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家实验室（筹）张广宇研究组与高鸿钧研究组、王恩哥研究组合作，利用自制的远程电感耦合等离子体系统，