基于不等高梳齿的离面运动静电驱动器研究的开题报告

基于不等高梳齿的离面运动静电驱动器研究的开题报告一、研究背景及意义静电驱动器是一种以静电力作为驱动力的微纳精密运动装置，具有体积小、重量轻、低功耗、快速响应等优点，已经广泛应用于微型机械、MEMS、生