微电子机械系统使用聚合物

微电子机械系统使用聚合物 聚合物已被集成电路行业用了十余年，主要作为光刻工艺中的光敏层，然后在图案转移步骤作为刻蚀掩膜。这种应用在微机械领域得到了延续，聚合物特别是光刻胶在许多微机械技术中一直被