氮化镓单晶衬底制备的若干关键技术及物性研究

氮化镓单晶衬底制备的若干关键技术及物性研究摘要本文介绍了氮化镓单晶衬底的制备及其关键技术,通过对氮化镓单晶衬底的物性分析,探讨了其在半导体材料中的应用前景。本次研究提出了基于金属有机气相沉积技术(MO

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