真空磁控溅射镀膜设备用户手册

真空磁控溅射镀膜设备顾客手册真空磁控溅射镀膜控制系统 用 户 手 册 -07-09 V1.1 目 录 1.系统简述 ..........................................

真空磁控溅射镀膜设备顾客手册 真空磁控溅射镀膜控制系统 用 户 手 册 -07-09 V1.1 目录 1.系统简述 ....................................................................... ............................................... 41.1真空系 统...................................................................... .......................................... 41.2 传送系 统...................................................................... ......................................... 41.3 加热系 统...................................................................... ......................................... 41.4 溅射电 源...................................................................... ......................................... 41.5 冷却水 ....................................................................... ........................................... 41.6 工艺气