陶瓷坩埚在多晶硅材料提纯和铸锭中的应用

陶瓷坩埚在多晶硅材料提纯和铸锭中的应用陈圣贤苏州创新陶瓷有限公司摘要：由于在单晶硅生产中成熟的应用是石英玻璃坩埚，所以许多人自然地把石英玻璃坩埚移植在多晶硅的生产上，导致应用失败。技术上成熟的方法是采