微机电系统功能检测

班级：2011级机汽学院硕士3班 姓名：卢嘉辉 学号：201121002847微机电系统的性能检测及其应用一、微机电系统概述微机电系统是指用微机械加工技术制作的包括微传感器、微执行器、