柔性对称微位移放大机构性能分析方法的研究

柔性对称微位移放大机构性能分析方法的研究摘要在柔性对称微位移放大机构设计与控制中，性能分析是非常关键的环节。本文针对该问题进行了深入研究，提出了一种基于有限元和模态分析的性能分析方法。该方法综合考虑了