TFS等离子体源辅助电子束蒸发沉积系统仿真与实验的开题报告

TFS等离子体源辅助电子束蒸发沉积系统仿真与实验的开题报告一、项目背景TFS等离子体源辅助电子束蒸发沉积系统日益受到科研工作者的重视，尤其是在纳米材料制备方面具有广泛的应用前景。其主要原理是利用等离子