MPCVD法合成单晶体金刚石的工艺探索(下)

MPCVD法合成单晶体金刚石的工艺探索(下)MPCVD法合成单晶体金刚石的工艺探索摘要：金刚石是一种最硬的天然材料，具有优异的力学、热学和光学性质，因此在许多领域有着广泛的应用。MPCVD（Micro

MPCVD() 法合成单晶体金刚石的工艺探索下 MPCVD 法合成单晶体金刚石的工艺探索 摘要： 金刚石是一种最硬的天然材料，具有优异的力学、热学和光学性 MPCVDMicro Pressure Chemical 质，因此在许多领域有着广泛的应用。（ Vapor Deposition ）法是一种常用的金刚石合成方法，具有高效、低成本 MPCVD 等优点。本文对法合成单晶体金刚石的工艺进行了探索和研究， 包括材料选择、气氛控制、反应参数优化等方面。通过实验，得出了一 套较为可行的合成工艺。 1. 引言 金刚石是由碳元素构成的石墨化合物，是一种颇具价值和应用前景 的材料。自然界的金刚石非常稀有，合成金刚石因其高效、低成本等优 MPCVD 点成为了科研和工业界的关注焦点。法是一种常用的金刚石合成 方法，本文将对其进行系统的探索和研究。 2. 材料选择 MPCVD 在法中，选择合适的基片材料对金刚石合成至关重要。常见 的基片材料有钷、钠等，本文选用了块状氯化钠基片。经过实验表明， 块状氯化钠可以提供较好的晶体生长基底和机械支撑，对金刚石的生长 具有积极的影响。 3. 气氛控制 MPCVD 气氛控制是法合成金刚石过程中的关键环节。常用气氛为氢 气、甲烷和钛元素的混合气体，通过控制混合气体的比例可以调控金刚 石的生长速度和质量。本文在实验中通过控制甲烷和钛元素的流量比 例，成功地合成出了高质量的金刚石单晶体。 4. 反应参数优化