基片表面缺陷粒子在激光波束作用下的辐射力分析

基片表面缺陷粒子在激光波束作用下的辐射力分析简介激光技术已应用于许多领域，包括半导体制造和微电子学。在集成电路中，半导体基片表面缺陷粒子是一个重要的问题，这些缺陷粒子会影响器件的性能和可靠性。因此，对