低压化学气相沉积(CVD)反应器的模型化和分析

低压化学气相沉积(CVD)反应器的模型化和分析低压化学气相沉积(CVD)是一种重要的纳米材料制备技术，它可以通过在相对较低的压力下使用化学反应产生的热量来在晶体表面沉积材料。该方法用于制备复杂的材料，