硅中离子注入硫属元素引入深能级的研究

硅中离子注入硫属元素引入深能级的研究硅中离子注入硫属元素引入深能级的研究摘要：硅中离子注入 (SIMS) 技术是分析材料元素成分及其分布的一种有效、灵敏的表征手段。本文主要探讨了硅中离子注入硫属元素后