真空蒸镀光学元件面形变化机制研究

真空蒸镀光学元件面形变化机制研究摘要本文研究了真空蒸镀光学元件面形变化机制，总结了蒸镀过程中面形变化的主要因素，包括应力、温度、蒸镀物质的化学反应等。通过实验和理论分析，证明了这些因素对于元件的面形变