片式薄膜电容切片工艺及设备研究

电子工艺技术E ! 皇 Q 墨 Q 曼 墨 墨 Q ! Q g 2 0 1 1 年9 月 第3 2 卷第5 期·新工艺 ·新 技术·片式薄膜电容切片工艺及设备研究朱跃 红 ，魏海滨 ，辛伟(太原风华信